X射线荧光光谱分析(XRF)是一种用于测定多种类型样品(包括固体、液体、浆料和粉末)化学成分的分析技术，还可用于确定分层和涂层的厚度和成分。可以分析从铍 (Be) 到铀 (U) 的各种元素，涵盖从 100 wt% 到百万分之一以下的浓度范围。

广泛应用于包括材料科学、半导体、环境、制药、冶金、考古等各个行业和科学领域。