X射线衍射仪(X-ray diffractometer,简称XRD)是目前研究晶体结构最有力的方法之一。XRD特别适用于晶态物质的物相分析,通过检查样品的X射线衍射图以及与已知的晶态物质的X射线衍射图谱的对比,可完成对样品物相组成和结构的定性鉴定。通过对样品衍射强度等数据的分析计算,可以完成样品物相组成的定量分析。
XRD还可测定材料中晶粒的大小及排布取向、材料中的应力测量、摇摆曲线、倒易空间图、结晶度、晶胞参数的精确测定等。