PEALD设备

在 PEALD 设备中，通过射频（RF）或微波等方式产生等离子体，等离子体中的高活性粒子能够增强反应物的化学活性，促进化学反应的进行，降低反应温度，提高薄膜的质量和沉积速率，还可以改善薄膜的均匀性和致密性等性能。

广泛应用于半导体产业、光电子、微机电系统、生物医学等领域。